Микроэлектроника: Конспекты - Состояние дел по проекту литографа на длину волны 11.2 нм

MForum.ru

Микроэлектроника: Конспекты - Состояние дел по проекту литографа на длину волны 11.2 нм

17.03.2025, MForum.ru


Н.И. Чхало, И.В. Малышев, А.Н. Нечай, В. Паульс, В.Н. Полковников, Институт физики микроструктур РАН, Н.Новгород. Конспект выступления Н.И. Чхало на XXIX симпозиуме Нанофизика и наноэлектроника.

Н.И. Чхало:

По итогам последних 3 лет можно констатировать, что «процесс пошел». Самое новое, что произошло – скорректирована концепция, дорожная карта развития рентгеновской литографии.

Произошел сдвиг по срокам, в рамках первого этапа до создания этой альфа-машины пройдет примерно 4 года. А второй этап – это уже создание на ее основе, путем ее доведения, индустриальной машины.

Мы беремся за 4-х зеркальный объектив с очень скромной апертурой NA=0.14. При этом поле засветки у такой машины будет как у машины ASML: высота 26 мм, а ширина W’ ~ 0.5мм.

3 марта 2025 года стартовал аванпроект ФПИ «Обоснование технической возможности создания отечественного рентгеновского проекционного литографа». Лед тронулся! У нас есть и соисполнители.

У нас активно работы ведутся по лазерно-плазменным источникам рентгеновского излучения. Причем с привлечением внешних партнеров. Раньше мы все сами пытались делать, теперь и Троицк в этом направлении начал работать. А Троицк – это те люди, которые, по сути, создали теорию лазеро-плазменных источников ASML, это очень мощная команда.

Мы хотим немного повысить числовую апертуру NA, чтобы, во-первых, добиться патентной чистоты системы с 4-зеркальным объективом, а во-вторых, чтобы повысить контрастность.

Есть возможность плавно перейти от первой экспериментальной машины к индустриальной машине.

Коллектив у нас вырос, много молодых ребят, они точно все сделают.

🔹 Конспект выступления Н.И. Чхало на XXIX Симпозиуме "Нанофизика и наноэлектроника"

🔹 Видеозапись выступления

--

За новостями телекома и IT удобно следить в телеграм-канале abloud62. Региональные новости и анонсы пресс-релизов вы найдете в канале abloudRealTime, также подключайтесь к каналу Бойко про телеком ВКонтакте

теги: конспекты микроэлектроника фотолитография

-- 

© Алексей Бойко, MForum.ru


Публикации по теме:

27.02. [Новости компаний] Микроэлектроника: Intel сообщает, что новые машины ASML запущены и результаты – положительные / MForum.ru

14.11. [Новости компаний] Микроэлектроника: В ASML надеются на рост спроса на свои решения вплоть до 2030 года / MForum.ru

11.05. [Новости компаний] Микроэлектроника: Intel, возможно, получит все High-NA EUV сканеры, произведенные ASML в 2023-2024 году / MForum.ru

06.03. [Новости компаний] Микроэлектроника: В России вскоре начнется "Фотолиз" / MForum.ru

23.10. [Краткие новости]  EUV-сканеры / MForum.ru

Обсуждение (открыть в отдельном окне)

В форуме нет сообщений.

Новое сообщение:
Complete in 2 ms, lookup=0 ms, find=2 ms

Последние сообщения в форумах

Все форумы »



Поиск по сайту:

Подписка:

Подписаться
Отписаться


Новости

01.10. [Новинки] Анонсы: Представлен Vivo V60 Lite 4G с аккумулятором емкостью 6500 мАч и быстрой зарядкой мощностью 90 Вт / MForum.ru

01.10. [Новинки] Анонсы: Realme P3 Lite 4G появился в ЕС / MForum.ru

30.09. [Новинки] Анонсы: Vivo V60e появится в Индии / MForum.ru

29.09. [Новинки] Анонсы: Xiaomi 15T и 15T Pro представлены официально / MForum.ru

26.09. [Новинки] Анонсы: Xiaomi 17 со Snapdragon 8 Elite Gen 5 представлен официально / MForum.ru

25.09. [Новинки] Анонсы: Vivo V60 Lite 5G представлен официально / MForum.ru

25.09. [Новинки] Анонсы: Qualcomm официально представила Snapdragon 8 Elite Gen 5 / MForum.ru

24.09. [Новинки] Слухи: Использование инновационного экрана в iQOO 15 подтверждено официально / MForum.ru

23.09. [Новинки] Анонсы: MediaTek официально представила флагманский чипсет Dimensity 9500 / MForum.ru

23.09. [Новинки] Анонсы: Realme GT 8 и GT 8 Pro представят в следующем месяце / MForum.ru

22.09. [Новинки] Анонсы: Vivo Y50i представлен официально

19.09. [Новинки] Анонсы: Redmi 15C 5G появился в некоторых странах ЕС / MForum.ru

19.09. [Новинки] Слухи: Xiaomi Pad 8 может получить чипсет Snapdragon 8 Elite / MForum.ru

19.09. [Новинки] Слухи: Vivo V60 Lite 4G готовится к анонсу / MForum.ru

18.09. [Новинки] Слухи: Смартфон Xiaomi 17 Pro замечен в Geekbench / MForum.ru

17.09. [Новинки] Анонсы: Компания BOE представила дисплей ADS Pro / MForum.ru

16.09. [Новинки] Анонсы: Vivo Y31 5G и Y31 Pro 5G официально представлены в Индии / MForum.ru

16.09. [Новинки] Слухи:Huawei Watch GT 6 и Watch GT 6 Pro готовятся к анонсу / MForum.ru

15.09. [Новинки] Слухи: В сеть просочились изображения Moto G 2026 и G Play 2026 / MForum.ru

15.09. [Новинки] Анонсы: Sony Xperia 10 VII представлен официально / MForum.ru