MForum.ru
17.03.2025,
Н.И. Чхало, И.В. Малышев, А.Н. Нечай, В. Паульс, В.Н. Полковников, Институт физики микроструктур РАН, Н.Новгород. Конспект выступления Н.И. Чхало на XXIX симпозиуме Нанофизика и наноэлектроника.
Н.И. Чхало:
По итогам последних 3 лет можно констатировать, что «процесс пошел». Самое новое, что произошло – скорректирована концепция, дорожная карта развития рентгеновской литографии.
Произошел сдвиг по срокам, в рамках первого этапа до создания этой альфа-машины пройдет примерно 4 года. А второй этап – это уже создание на ее основе, путем ее доведения, индустриальной машины.
Мы беремся за 4-х зеркальный объектив с очень скромной апертурой NA=0.14. При этом поле засветки у такой машины будет как у машины ASML: высота 26 мм, а ширина W’ ~ 0.5мм.
3 марта 2025 года стартовал аванпроект ФПИ «Обоснование технической возможности создания отечественного рентгеновского проекционного литографа». Лед тронулся! У нас есть и соисполнители.
У нас активно работы ведутся по лазерно-плазменным источникам рентгеновского излучения. Причем с привлечением внешних партнеров. Раньше мы все сами пытались делать, теперь и Троицк в этом направлении начал работать. А Троицк – это те люди, которые, по сути, создали теорию лазеро-плазменных источников ASML, это очень мощная команда.
Мы хотим немного повысить числовую апертуру NA, чтобы, во-первых, добиться патентной чистоты системы с 4-зеркальным объективом, а во-вторых, чтобы повысить контрастность.
Есть возможность плавно перейти от первой экспериментальной машины к индустриальной машине.
Коллектив у нас вырос, много молодых ребят, они точно все сделают.
🔹 Конспект выступления Н.И. Чхало на XXIX Симпозиуме "Нанофизика и наноэлектроника"
--
За новостями телекома и IT удобно следить в телеграм-канале abloud62. Региональные новости и анонсы пресс-релизов вы найдете в канале abloudRealTime, также подключайтесь к каналу Бойко про телеком ВКонтакте
теги: конспекты микроэлектроника фотолитография
--
Публикации по теме:
27.02. [Новости компаний] Микроэлектроника: Intel сообщает, что новые машины ASML запущены и результаты – положительные / MForum.ru
14.11. [Новости компаний] Микроэлектроника: В ASML надеются на рост спроса на свои решения вплоть до 2030 года / MForum.ru
11.05. [Новости компаний] Микроэлектроника: Intel, возможно, получит все High-NA EUV сканеры, произведенные ASML в 2023-2024 году / MForum.ru
06.03. [Новости компаний] Микроэлектроника: В России вскоре начнется "Фотолиз" / MForum.ru
23.10. [Краткие новости] EUV-сканеры / MForum.ru
01.10. [Новинки] Анонсы: Представлен Vivo V60 Lite 4G с аккумулятором емкостью 6500 мАч и быстрой зарядкой мощностью 90 Вт / MForum.ru
01.10. [Новинки] Анонсы: Realme P3 Lite 4G появился в ЕС / MForum.ru
30.09. [Новинки] Анонсы: Vivo V60e появится в Индии / MForum.ru
29.09. [Новинки] Анонсы: Xiaomi 15T и 15T Pro представлены официально / MForum.ru
26.09. [Новинки] Анонсы: Xiaomi 17 со Snapdragon 8 Elite Gen 5 представлен официально / MForum.ru
25.09. [Новинки] Анонсы: Vivo V60 Lite 5G представлен официально / MForum.ru
25.09. [Новинки] Анонсы: Qualcomm официально представила Snapdragon 8 Elite Gen 5 / MForum.ru
24.09. [Новинки] Слухи: Использование инновационного экрана в iQOO 15 подтверждено официально / MForum.ru
23.09. [Новинки] Анонсы: MediaTek официально представила флагманский чипсет Dimensity 9500 / MForum.ru
23.09. [Новинки] Анонсы: Realme GT 8 и GT 8 Pro представят в следующем месяце / MForum.ru
22.09. [Новинки] Анонсы: Vivo Y50i представлен официально
19.09. [Новинки] Анонсы: Redmi 15C 5G появился в некоторых странах ЕС / MForum.ru
19.09. [Новинки] Слухи: Xiaomi Pad 8 может получить чипсет Snapdragon 8 Elite / MForum.ru
19.09. [Новинки] Слухи: Vivo V60 Lite 4G готовится к анонсу / MForum.ru
18.09. [Новинки] Слухи: Смартфон Xiaomi 17 Pro замечен в Geekbench / MForum.ru
17.09. [Новинки] Анонсы: Компания BOE представила дисплей ADS Pro / MForum.ru
16.09. [Новинки] Анонсы: Vivo Y31 5G и Y31 Pro 5G официально представлены в Индии / MForum.ru
16.09. [Новинки] Слухи:Huawei Watch GT 6 и Watch GT 6 Pro готовятся к анонсу / MForum.ru
15.09. [Новинки] Слухи: В сеть просочились изображения Moto G 2026 и G Play 2026 / MForum.ru
15.09. [Новинки] Анонсы: Sony Xperia 10 VII представлен официально / MForum.ru