MForum.ru
17.03.2025,
Н.И. Чхало, И.В. Малышев, А.Н. Нечай, В. Паульс, В.Н. Полковников, Институт физики микроструктур РАН, Н.Новгород. Конспект выступления Н.И. Чхало на XXIX симпозиуме Нанофизика и наноэлектроника.
Н.И. Чхало:
По итогам последних 3 лет можно констатировать, что «процесс пошел». Самое новое, что произошло – скорректирована концепция, дорожная карта развития рентгеновской литографии.
Произошел сдвиг по срокам, в рамках первого этапа до создания этой альфа-машины пройдет примерно 4 года. А второй этап – это уже создание на ее основе, путем ее доведения, индустриальной машины.
Мы беремся за 4-х зеркальный объектив с очень скромной апертурой NA=0.14. При этом поле засветки у такой машины будет как у машины ASML: высота 26 мм, а ширина W’ ~ 0.5мм.
3 марта 2025 года стартовал аванпроект ФПИ «Обоснование технической возможности создания отечественного рентгеновского проекционного литографа». Лед тронулся! У нас есть и соисполнители.
У нас активно работы ведутся по лазерно-плазменным источникам рентгеновского излучения. Причем с привлечением внешних партнеров. Раньше мы все сами пытались делать, теперь и Троицк в этом направлении начал работать. А Троицк – это те люди, которые, по сути, создали теорию лазеро-плазменных источников ASML, это очень мощная команда.
Мы хотим немного повысить числовую апертуру NA, чтобы, во-первых, добиться патентной чистоты системы с 4-зеркальным объективом, а во-вторых, чтобы повысить контрастность.
Есть возможность плавно перейти от первой экспериментальной машины к индустриальной машине.
Коллектив у нас вырос, много молодых ребят, они точно все сделают.
🔹 Конспект выступления Н.И. Чхало на XXIX Симпозиуме "Нанофизика и наноэлектроника"
--
За новостями телекома и IT удобно следить в телеграм-канале abloud62. Региональные новости и анонсы пресс-релизов вы найдете в канале abloudRealTime, также подключайтесь к каналу Бойко про телеком ВКонтакте
теги: конспекты микроэлектроника фотолитография
--
Публикации по теме:
27.02. [Новости компаний] Микроэлектроника: Intel сообщает, что новые машины ASML запущены и результаты – положительные / MForum.ru
14.11. [Новости компаний] Микроэлектроника: В ASML надеются на рост спроса на свои решения вплоть до 2030 года / MForum.ru
11.05. [Новости компаний] Микроэлектроника: Intel, возможно, получит все High-NA EUV сканеры, произведенные ASML в 2023-2024 году / MForum.ru
06.03. [Новости компаний] Микроэлектроника: В России вскоре начнется "Фотолиз" / MForum.ru
23.10. [Краткие новости] EUV-сканеры / MForum.ru
22.10. [Новинки] Анонсы: Realme GT8 представлен официально / MForum.ru
22.10. [Новинки] Анонсы: Realme GT8 Pro – смартфон со сменным обрамлением камер и топовыми характеристиками / MForum.ru
21.10. [Новинки] Анонсы: В Китае представлен планшет iQOO Pad 5e / MForum.ru
21.10. [Новинки] Анонсы: Флагманский смартфон iQOO 15 с Snapdragon 8 Elite Gen 5 представлен официально / MForum.ru
20.10. [Новинки] Анонсы: Планшет Oppo Pad 5 и смарт-часы Watch S представлены официально / MForum.ru
20.10. [Новинки] Анонсы: Представлены Oppo Find X9 и X9 Pro на базе чипсета Dimensity 9500 / MForum.ru
20.10. [Новинки] Анонсы: Складной смартфон Huawei Nova Flip S представлен официально / MForum.ru
17.10. [Новинки] Анонсы: Роскошный смартфон Vertu Agent Q можно будет купить только в одном магазине / MForum.ru
16.10. [Новинки] Анонсы: Honor официально представила Magic 8 и Magic 8 Pro / MForum.ru
16.10. [Новинки] Анонсы: Honor Watch 5 Pro представлены официально / MForum.ru
16.10. [Новинки] Анонсы: Honor MagicPad3 Pro 13.3 представлен официально / MForum.ru
16.10. [Новинки] Анонсы: «Новый» Moto G100 с аккумулятором 7000 мАч представлен официально / MForum.ru
15.10. [Новинки] Анонсы: Vivo TWS 5 – флагманские наушники с 11 мм динамиками и Hi-Fi версией / MForum.ru
15.10. [Новинки] Анонсы: Vivo Watch GT 2 с ярким дисплеем и eSIM представлены официально / MForum.ru
14.10. [Новинки] Анонсы: Планшет Vivo Pad 5e представлен официально / MForum.ru
14.10. [Новинки] Анонсы: Vivo X300 и X300 Pro с 200 Мп камерами представлены официально / MForum.ru
14.10. [Новинки] Анонсы: Характеристики Honor Magic 8 Pro раскрыты до анонса / MForum.ru
14.10. [Новинки] Слухи: Nothing работает над Phone (3a) Lite / MForum.ru
13.10. [Новинки] Анонсы: Suunto Vertical 2 – смарт-часы для активного отдыха / MForum.ru
13.10. [Новинки] Анонсы: Роскошный Samsung W26 представлен в Китае / MForum.ru