Микроэлектроника: В Троицке восстановили и модернизировали советский электронный литограф

MForum.ru

Микроэлектроника: В Троицке восстановили и модернизировали советский электронный литограф

10.07.2025, MForum.ru


Несмотря на то, что электронный нанолитограф ZBA - это "старичок", разработанный в 1980-1990 годы, в Троицком подразделении ФИАН посчитали, что вернуть установку к жизни будет небесполезным. На постсоветском пространстве работало несколько сотен таких установок. Тем более, что в ходе реинжиниринга, часть узлов была переработана с учетом современных возможностей. Об этом сообщает ТАСС.

На воссозданной установке можно производить элементы спектрометров и компоненты, необходимые, например, для изготовления дифракционных оптических элементов и фазовых решеток для систем компьютерного зрения и микроскопии.

На ней были созданы дифракционные решетки скользящего падения с переменным периодом, - такие применяют в рентгеновской оптике.

Установка может работать с пластинами 150х150 мм.

В установке пучок электронов используется для структурирования поверхности специального полимерного материала (резиста). Полученные дифракционные структуры можно использовать в голографии, системах дополненной реальности, при создании масок для фотолитографии.

Насколько я понял из источника, на серийное производство установки в Троицке пока не замахивались, восстановили ее для собственных нужд.

--

За новостями телекома и IT удобно следить в телеграм-канале abloud62. Региональные новости и анонсы пресс-релизов вы найдете в канале abloudRealTime, также подключайтесь к каналу Бойко про телеком ВКонтакте

теги: микроэлектроника электронный литограф дифракционные пластины Россия

-- 

© Алексей Бойко, MForum.ru


Публикации по теме:

08.07. [Новости компаний] Микроэлектроника: И снова нужна медь - штыри вместо шариков / MForum.ru

01.07. [Новости компаний] Микроэлектроника. Квантовые вычисления: Кремниевый чип, как ожидается, сможет "переводить" радиоизлучение в свет и обратно / MForum.ru

30.06. [Новости компаний] Микроэлектроника: Платы вместо чипов - китайский производитель чипов ИИ Sophgo адаптирует вычислительную плату SC11 FP300 под использование LLM DeepSeek / MForum.ru

30.06. [Новости компаний] Микроэлектроника: Американская Nanotronics видит спрос на модульные минифабы для производства полупроводников / MForum.ru

25.06. [Новости компаний] Микроэлектроника: ERG планирует начать производство галлия в Казахстане с 2026 года / MForum.ru

Обсуждение (открыть в отдельном окне)

В форуме нет сообщений.

Новое сообщение:
Complete in 2 ms, lookup=0 ms, find=2 ms

Последние сообщения в форумах

Все форумы »



Поиск по сайту:

Подписка:

Подписаться
Отписаться


Новости

01.10. [Новинки] Анонсы: Представлен Vivo V60 Lite 4G с аккумулятором емкостью 6500 мАч и быстрой зарядкой мощностью 90 Вт / MForum.ru

01.10. [Новинки] Анонсы: Realme P3 Lite 4G появился в ЕС / MForum.ru

30.09. [Новинки] Анонсы: Vivo V60e появится в Индии / MForum.ru

29.09. [Новинки] Анонсы: Xiaomi 15T и 15T Pro представлены официально / MForum.ru

26.09. [Новинки] Анонсы: Xiaomi 17 со Snapdragon 8 Elite Gen 5 представлен официально / MForum.ru

25.09. [Новинки] Анонсы: Vivo V60 Lite 5G представлен официально / MForum.ru

25.09. [Новинки] Анонсы: Qualcomm официально представила Snapdragon 8 Elite Gen 5 / MForum.ru

24.09. [Новинки] Слухи: Использование инновационного экрана в iQOO 15 подтверждено официально / MForum.ru

23.09. [Новинки] Анонсы: MediaTek официально представила флагманский чипсет Dimensity 9500 / MForum.ru

23.09. [Новинки] Анонсы: Realme GT 8 и GT 8 Pro представят в следующем месяце / MForum.ru

22.09. [Новинки] Анонсы: Vivo Y50i представлен официально

19.09. [Новинки] Анонсы: Redmi 15C 5G появился в некоторых странах ЕС / MForum.ru

19.09. [Новинки] Слухи: Xiaomi Pad 8 может получить чипсет Snapdragon 8 Elite / MForum.ru

19.09. [Новинки] Слухи: Vivo V60 Lite 4G готовится к анонсу / MForum.ru

18.09. [Новинки] Слухи: Смартфон Xiaomi 17 Pro замечен в Geekbench / MForum.ru

17.09. [Новинки] Анонсы: Компания BOE представила дисплей ADS Pro / MForum.ru

16.09. [Новинки] Анонсы: Vivo Y31 5G и Y31 Pro 5G официально представлены в Индии / MForum.ru

16.09. [Новинки] Слухи:Huawei Watch GT 6 и Watch GT 6 Pro готовятся к анонсу / MForum.ru

15.09. [Новинки] Слухи: В сеть просочились изображения Moto G 2026 и G Play 2026 / MForum.ru

15.09. [Новинки] Анонсы: Sony Xperia 10 VII представлен официально / MForum.ru