« Все форумы

EUV-сканеры (23.10.2019)  

 
23.11.2019 23:20 * От: ABloud

В Samsung будут использовать заморозку пластин и низкое давление при EUV-литографии

В Samsung будут использовать заморозку пластин и низкое давление при EUV-литографии.

В Samsung используют EUV для коммерческого производства примерно уже год. Тем не менее, технология пока что остается проблемной.

Основные проблемы при использовании EUV - высокая плотность энергии пучка, что приводит к разрушению материала пластин. Другая проблема - после экспонирования пластины в EUV трудно протравить необходимые тончайшие дорожки. Столь же непросто депонировать добавки в структуры столь высокой плотности.

Удельная энергетическая плотность луча EUV-сканера с длиной волны 13.5нм в 10 раз выше, чем у луча лазера 193нм. Из-за этого в фоторезисте возникают паразитные образования. Образуются "микромосты", - непредусмотренные архитектурой чипа перемычки, которые в дальнейшем могут вызывать отказ. В Samsung с этим пытаются справиться за счет повторяемой короткой экспозицией и применением повторного травления. Это удлиняет производственный цикл.

Проблемы есть и с травлением все более узких канавок, это также требует больше времени на процесс, растет расход реагентов, включая защитное покрытие там, где не требуется травление.

Как решать эти проблемы?

В Samsung намерены снизить рабочую температуру в камере с обрабатываемой пластиной при одновременном снижении давления. Это снизит активность реагентов, в частности, снизится чувствительность фоторезиста, что позволяет рассчитывать на то, что микромосты не будут образовываться. Также снизятся требования к защитной полимерной пленке.

Сниженное давление усилит циркуляцию материалов в канавках при их обработке рабочими газами, что должно сократить по времени циклы травления и депонирования.

Пока что это рабочие идеи, которые только предстоит дорабатывать до того, как они станут частью серийного производства. Источник: 3dnews.ru со ссылкой на etnews.com


Новое сообщение:
Complete in 6 ms, lookup=1 ms, find=5 ms

« Все форумы

Новости

«Билайн» открыл предзаказ на iPhone SE

Если вас заинтересовала новинка Apple - iPhone SE, то можно оформить предзаказ на этот девайс на сайте интернет-магазина Билайн

Apple Watch как пульт управлениям камерой GoPro

Официальное приложение от известного производителя экшн-камер GoPro получило обновление, добавившее интересую функциональность.

Аналитическое агентство KGI рассказало об iPhone 6C

Аналитическое агентство KGI представило свое видение смартфона, который может выйти на рынок под именем iPhone 6C. По мнению аналитиков в модельном ряду Apple он займет нишу «доступной» модели и будет представлять собой улучшенную версию iPhone

Степень проникновения iOS 9 достигла 70%

Компания Apple обнародовала статистику, согласно которой по итогам ноября iOS 9 установлена на 70% совместимых устройств. Еще 22% совместимых с iOS 9 устройств работают под управлением iOS 8, а 8% - продолжают использовать более старые версии iOS.

Что нас ждет в iPhone 7?

Учитывая текущий цикл обновления продуктов Apple, от iPhone 6S глобальных изменений никто не ждал. Однако, с iPhone 7 ситуация совершенно иная. Это должно быть принципиальное обновление «яблочного» смартфона, которое принесет не только улучшенный функционал, но и обновленный дизайн.

Apple Watch 2 могут быть представлены во 2 квартале 2016 года

Со смарт-часами Apple связано много интересных нюансов. В частности, компания Apple так и не раскрыла данные об их продажах, хотя для об успехах в реализации других устройств она рапортует весьма охотно. Впрочем, не стоит забывать, что Apple Watch являются первопроходцем, своеобразной пробой пера, а со вторым поколением этого гаджета ситуация может быть совершенно иной.

Объявлены российские цены iPad Pro и Apple Pencil

11 ноября компания Apple начнет прием предварительных заказов на iPad Pro и Apple Pencil в 40 странах, включая Россию.

Продажи Apple Watch не превысили 7 млн. устройств

Не секрет, что компания Apple любит рассказывать о своих успехах. Она охотно рапортует о росте продаж iPhone и других успехах. Однако это совершенно не касается Apple Watch, которые производитель даже не выделил в отдельную категорию.

Panic Mode – тревожный режим для iPhone / iPad

Патентное ведомство США опубликовало заявку компании Apple, в которой описывается методика использование дактилоскопического сенсора для активации Panic Mode (режима паники), в котором устройство выполняет ряд специальных действий.

Компания Apple подвела итоги финансового года

2015 финансовый год, для американской компании Apple завершившийся 26 сентября, принес отличные результаты. Выручка за 4 квартал составила $51,5 млрд, чистая прибыль – $11,1 млрд. Относительно 2014 года рост выручки составил 22%, при этом прибыль выросла еще больше – на 30%.